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理想平面用光学平晶的工作面表示,被测面的平面度误差值直接由干涉条纹的弯曲程度决定。主要用于测量小平面的平面度误差,如量规的工作面和千分尺测头的测量面。
平面由直线组成,因此直尺法、光学准直法、光学自准直法和重力法也适用于测量平面度误差。测量平面度时,先测量几个截面的直线度。
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