什么是光刻机
科普大全 2023-09-21 03:24:01
生活的过程中，小伙伴们是不是经常遇到一些很困惑的问题，比如我们今天要说的什么是光刻机这个问题，要解决这样的问题其实很简单，下面可以跟着小编来具体了解一下吧。
光刻机又称:掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。常用的掩模光刻机是掩模对准光刻，所以称为MaskAlignmentSystem。一般的光刻工艺要经过硅片表面清洗干燥、底部涂覆、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烤、显影、硬烤、刻蚀等过程。光刻就是用光制作图案(工艺)；在硅片表面涂胶，然后将掩膜版上的图案转移到光刻胶上，将器件或电路结构暂时“复制”到硅片上的工艺。
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